RTP快速退火炉真空型500V
RTP快速退火炉真空型500V
性能指标 配备状态
温度范围 100 – 1300 ℃
升温速率 2  —  200 ℃/秒可调
密封石英腔内面尺寸 215 X 140X 14 毫米
样品最大尺寸 4英寸
计算机控制器 CPU主频2.1 GHz,内存2 G,硬盘1 T,19英寸液晶显示器,Windows 10操作系统。配有AD/DA卡ISA/PCI插口,及RTP-600控制软件。(配置以出厂前最新电脑配置为准,不低于上述配置)及快速热处理编程控制软件RTP-600的控制软件. 可编程温度曲线存储1500 条以上, 每条曲线包括100段以上, 温度设定范围 25—1300℃ , 每段时间设定范围1—30000 秒。数据可导出为文本文件便于数据处理。自动优化温控。
温度设定范围 100-1300℃
温度重复性 +/-1℃
测温精确度 100-1300全温度段精度>0.5%
测温装置 K型热电偶
温度曲线 自动记录,保存,文本格式转换,支持彩色分页打印
真空系统 提供KF16接口,不锈钢管路,极限真空度0.1Pa
1000℃连续工作时间 双闭环温度控制,  稳态温度稳定性±1℃ ,1000℃连续工作>1小时
光源 1.25KW X 13 卤钨灯
电源 380 V  40A 三相 四线(三火线, 零线),50/60Hz
冷却装置 自来水或循环水, 水压 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
冷却方式 水冷,风冷,气冷
安全装置 过温报警,过热报警,过热自动保护,水压报警,水压异常自动保护
机柜尺寸 定制机柜
气体压力控制系统 气氛流量>2L/min 2路MFC气路系统,真空测量系统0.1Pa-100kPa,腔室压力可调。