13001277475
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| 性能指标 | 配备状态 | ||||
| 温度范围 | 100 – 1300 ℃ | ||||
| 升温速率 | 2 — 200 ℃/秒可调 | ||||
| 密封石英腔内面尺寸 | 215 X 140X 14 毫米 | ||||
| 样品最大尺寸 | 4英寸 | ||||
| 计算机控制器 |
PC 机控制，内存 16G,SSD硬盘，处理器：I5以上及快速热处理编程控制软件RTP-500的控制软件. 可编程温度曲线存储1500 条以上, 每条曲线包括100段以上, 温度设定范围 25—1300℃ , 每段时间设定范围1—30000 秒。数据可导出为文本文件便于数据处理。自动优化温控。 |
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| 真空系统 | 1路MFC（多路可定制） | ||||
| 温度重复性 | +/-1℃ 6区控温 | ||||
| 测温精确度 | 100-1300全温度段精度>0.5% | ||||
| 温度曲线 | 自动记录，保存，文本格式转换，支持彩色分页打印 | ||||
| 1000℃连续工作时间 | 双闭环温度控制, 稳态温度稳定性±2℃ ,1000℃连续工作>1小时 | ||||
硅基，三代，四代半导体制程工艺(RTP,RTA,RTO,RTN）
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