RTP快速退火炉600V
RTP快速退火炉600V
性能指标 配备状态
温度范围 150 – 1250 ℃
升温速率 2  —  150℃/秒可调


样品最大尺寸 8寸(多温区控制)
最大降温速率 80℃/秒


温度 ±2℃
1100℃连续工作时间 双闭环温度控制>400秒
光源 卤钨灯
电源 380 V  40A 三相 4线(三火线, 零线)
水源 自来水或循环水, 水压 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
压力 常压
可编程配气系统 1路MFC(可增加)