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产品及服务
4寸及以下RTP快速退火炉
6寸，8寸，12寸RTP快速退火炉
定制RTP快速退火炉
RTP快速退火炉600Z
RTP快速退火炉600Z
性能指标 配备状态
温度范围 150 – 1250 ℃
升温速率 2  —  200℃/秒可调
温度均匀性 ±2度
样品最大尺寸 6英寸
最大降温速率 80℃/秒
计算机控制器 联想笔记本电脑控制, Windows7以及RTP-600控制软件.
可编程温度曲线存储500 条以上, 每条曲线包括50段以上, 温度设定范围 100—1300 ℃ , 时间设定范围1—30000 秒。数据可导出为文本文件便于数据处理。
温度稳态稳定性 ±2℃
托盘 6英寸石英架
光源 卤钨灯
处理气氛 一路MFC氮气0-15SLPM
冷却方式 CDA喷淋,水冷
电源 380 V  63A 三相 4线(三火线, 零线)
水源 自来水或循环水, 水压 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分