性能参数 Performance Parameters
晶圆衬底 硅，碳化硅，玻璃等(可定制)
测量范围 K型:RT~1100°C

              S型:RT~1300°C 

              B型:RT~1600°C

测温精度： ±1.1°C/0.4%
测温点数 1-34
晶圆尺寸 2-12"
最高采样频率 75Hz
存储温度 -40~70°C