年

事项

1987年

受中国科学院研究生院委托研发白光／激光退火相关设备

1989年

首台KST－02 RTP设备交付北师大低能核物理所

1990年

首台RTP300 交付中国科学院半导体研究所

1993年

RTP300交付香港理工大学

1997年

首台RTP500 交付中电集团第13研究所

1999年

RTP500 交付香港理工大学

2003年

首台RTP500V交付北方交通大学

2003年

东星设计所从国营706厂独立出来成立北京东之星应用物理研究所

2004年

首台RTP400 交付清华微电子研究所

2005年

RTP300交付美国杨斯顿州立大学

2006年

RTP500V交付新加坡南洋理工大学

2007年

所长贺令渝退休，贺宁接替研发，经营工作。

2008年

首台RTP500E交付青岛大学

2009年

首台RTP600交付中科院微电子所

2011年

首台RTPlugin 交付中镓半导体设备有限公司

2011年

RTP300交付北京第四中学

2012年

RTP300交付英国邓迪大学

2013年

首台RTP500V+ 交付中科院微电子所

2014年

首台RTP500VL交付上海交通大学

2015年

首台RTP600V+ 双温场RTP交付中科院电工所

2016年

与清华大学，中晟光电合作研发12英寸MOCVD

2017年

RTP500Z交付河北光森，中科光芯，昆元光电等企业。

2019年

6英寸RTP600Z交付山东天岳，铭普光磁，全磊光电等企业。

2020年

8英寸RTP800V交付山东大学，中国科学院电工研究所

2021年

超高温RTP，RTP1700交付中科院微电子研究所

2022年

参与中芯国际12寸卡脖子课题攻关。

2023年

RTP800V自动化上片版交付中科院微电子研究所